Pelton Microturbine设计，搭配Cam-driven Diaphragm Valve，提供+/-1%的高精确度、高达+/-0.2%的覆现性、以及<=3秒的灵敏反应速度，并且没有零点漂移的缺点。

全机不含消耗性零组件。内部流道采一体成型设计，没有fitting、seal等零组件，维护成本低。没有流体沈积及阻塞问题，不需更换耗材、backflush，也不需PM。

所有接液部位零件均采用PTFE、Kal-Rez、sapphire材质制成，具有化学耐受性。

适用于CMP slurries、酸液、溶剂、以及其它的纯净流体，完全符合UHP等级规范。

具备15~10000mL/min的广泛流量范围、可耐受高达90℃的流体温度、2~80psi的操作压力范围等特性，提供使用者广泛的应用选择。

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